comparé à traditionnel deux fluides La pulvérisation, la pulvérisation par ultrasons présente les avantages de l'uniformité de revêtement élevé, une utilisation élevée de la matière première de matière première, une précision de contrôle d'épaisseur de revêtement élevée, une épaisseur de revêtement plus mince, moins des éclaboussures, aucun encrassement de buses et une faible entretien coûts. Comparé à l'évaporation sous vide, CVD et d'autres procédés de revêtement, la pulvérisation ultrasonique est un processus de revêtement de film mince plus économique, en particulier pour un film de surface plus vaste Préparation. Le coût de l'équipement de pulvérisation par ultrasons est beaucoup plus bas que celui du revêtement sous vide équipement. Introduissons brièvement ces Principaux avantages de l'ultrasons Pulvérisation.

Uniformité de revêtement élevé

L'uniformité de la distribution de particules liquides après être atomisée par la buse à ultrasons est significativement plus élevée que celle celui du deux fluides Buse, également appelée pistolet à air comprimé, de sorte que l'uniformité du revêtement après la pulvérisation de la buse à ultrasons est également considérablement améliorée. Généralement, l'uniformité du revêtement de pulvérisation à ultrasons peut atteindre plus de que 95%.

2. Haute utilisation des matières premières et moins de éclaboussures

Parce que La pulvérisation à ultrasons est une atomisation liquide par vibration ultrasonique, le revêtement n'est pas atomisé pendant Le processus d'atomisation, c'est-à-dire que le processus d'atomisation ne nécessite pas de pression, et seule une pression de gaz porteuse très faible est appliquée après l'atomisation pour transporter le liquide brouillard. Il réduit considérablement le rebond liquide et les éclaboussures causées par l'air haute pression pulvérisé par deux fluides, améliorant ainsi considérablement le taux d'utilisation du revêtement. Le taux d'utilisation des matières premières de pulvérisation par ultrasons est plus que 4 fois celle de la pulvérisation d'air ordinaire et le taux d'utilisation peut atteindre plus de que 90%.

3. Précision de contrôle d'épaisseur de revêtement élevée

Le facteur principal qui affecte l'épaisseur de revêtement La précision est le débit de pulvérisation du revêtement, c'est-à-dire la quantité de matériau transporté sur le substrat par unité temps. La tête de pulvérisation à ultrasons n'a aucune pression sur le liquide, elle peut donc contrôler complètement le débit de liquide du revêtement de pulvérisation atomisé par une haute précision Pompe de dosage, atteignant ainsi haute précision Flux de pulvérisation Contrôle. comme une haute précision Pompe à seringue, sa précision de contrôle de flux peut atteindre le niveau de Picoliters Per Deuxièmement, et le micro-canal La conception de la buse à ultrasons peut également atteindre la précision de contrôle globale de Nanoliters Per Deuxième.

4. L'épaisseur de revêtement mince peut atteindre des dizaines de nanomètres

Parce que Le volume de pulvérisation de la tête de pulvérisation à ultrasons peut atteindre un débit d'écurie très faible (0,001 ml / min), il peut atteindre un très petit montant de téléchargement sur le substrat, permettant ainsi un film très mince Pour Certaines nanomatérielles, l'épaisseur du film sec peut être aussi basse que des dizaines de Nanomètres. Il peut être utilisé pour préparer des films minces en verre tels que le film conducteur transparent, anti-réflexion anti-réflexion Film, Blindage thermique film et hydrophobe film.

5. Aucun encrassement de buses et de faible coût d'entretien

Parce que La buse à ultrasons est un liquide atomisé par une oscillation ultrasonore et les particules atomisées sont déterminées par la fréquence d'oscillation par ultrasons, elle est différente de celle de la Deux fluide buse. Le diamètre de la buse n'a pas besoin d'être très petit pour obtenir de fines particules atomisées, de sorte qu'il réduit le risque de buse obscurcissement.